光刻機(jī)工廠突發(fā)火災(zāi) ASML回應(yīng)：損失評(píng)估還需幾天時(shí)間

  ICC訊  這一年多來，全球半導(dǎo)體產(chǎn)能緊張，臺(tái)積電等芯片制造公司也在積極擴(kuò)大產(chǎn)能，光刻機(jī)之類的設(shè)備很搶手，在這個(gè)關(guān)鍵時(shí)刻，全球光刻機(jī)一哥ASML的工廠發(fā)生火災(zāi)，目前損失還在評(píng)估中。

  據(jù)報(bào)道，ASML公司在德國(guó)柏林的工廠突然發(fā)生了火災(zāi)，目前可以確認(rèn)沒有人員傷亡，但具體的損失情況還不確定。

  ASML公司在給媒體發(fā)布的聲明中指出，評(píng)估損失需要幾天時(shí)間，現(xiàn)在就提出是否影響今年業(yè)績(jī)或者就損害索賠等問題還為時(shí)尚早。

  起火的公司前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購(gòu)了這家公司，后者主要為ASML光刻機(jī)制造光學(xué)系統(tǒng)，這是光刻機(jī)的三大核心部件之一。

  2021年10月底，ASML發(fā)布了Q3財(cái)報(bào)，凈銷售額52億歐元(約合386億元)，毛利率51.7%，凈利潤(rùn)17億歐元(約合126億元)。官方預(yù)計(jì)四季度銷售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。

  ASML稱，三季度，EUV光刻機(jī)系統(tǒng)的訂單量達(dá)到了29億歐元，且當(dāng)季的出貨量和收入創(chuàng)下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機(jī)是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那里也達(dá)到了每小時(shí)加工160片晶圓的創(chuàng)紀(jì)錄效率。

  DUV(深紫外)光刻機(jī)方面，完成出貨1000臺(tái)ArF(氟化氬浸沒式光刻系統(tǒng))，這距離第一臺(tái)浸沒式光刻機(jī)(XT:1700Fi)出貨過去了15年。