CCS系統(tǒng)助華工正源增產(chǎn)基于IIIV材料光器件

        ICCSZ訊 德國AIXTRON愛思強近日發(fā)布新聞稱，中國領(lǐng)先光學(xué)元件開發(fā)商和制造商武漢華工正源光子技術(shù)有限公司（下稱“華工正源”），已經(jīng)訂購一臺6x2英寸的噴淋領(lǐng)頭式氣體噴嘴(CCS)外延沉積系統(tǒng)，用以在磷化銦襯底上生產(chǎn)發(fā)光設(shè)備和檢測設(shè)備。

        華工正源的首席科學(xué)家王肇中說道：“再次訂購說明了我們對愛思強科技的滿意和信任。我們現(xiàn)有的系統(tǒng)已經(jīng)充分顯示了愛思強產(chǎn)品的多功能性，易操作性和可重復(fù)性。購進新的系統(tǒng)后，我們就可以實施我們的產(chǎn)能擴展計劃。我對順利擴大產(chǎn)能和愛思強服務(wù)團隊優(yōu)質(zhì)的支持、安裝和操作服務(wù)抱有很高的期待。”

        華工正源是中國擁有外延生長，芯片制造，器件、光學(xué)模塊和子系統(tǒng)制造的完整大規(guī)模生產(chǎn)線的廠家之一。產(chǎn)品范圍覆蓋了半導(dǎo)體激光器和探測器芯片，有源器件和收發(fā)器，可廣泛應(yīng)用于數(shù)字通信，模擬通信和光傳感器。

        愛思強6x2英寸CCS外延沉積系統(tǒng)專為研究和生產(chǎn)而設(shè)計。使用CCS系統(tǒng)開發(fā)的過程可以很容易地擴展并部署到較大規(guī)模生產(chǎn)的CRIUS平臺上。CCS的三個分區(qū)加熱器能提供最佳的溫度均勻性標(biāo)準(zhǔn)。