【訊石光通訊咨詢網(wǎng)】6月5日,高功率光纖激光器和放大器的世界先廠商IPG光子公司,宣布介紹IX-255紫外激光微加工系統(tǒng)。這個先進(jìn)的、高度靈活的系統(tǒng)來自IPG的微系統(tǒng)部門,其用途廣泛,可用于研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)。 IPG的多功能系統(tǒng)可以配置一個光束能量密度高達(dá)25 J/平方厘米的應(yīng)用程序如鉆井陶瓷材料,或一個低能量密度曝光應(yīng)用如保形涂層除去、剝離絕緣及退火處理。第三個配置則允許編程選擇為通用圖案模式,切削和加工盲區(qū)特性。
IPG的IX-255是完全聯(lián)鎖的,1級工作站底座為花崗巖,支撐結(jié)構(gòu)振動極小,而雙顯微鏡視覺系統(tǒng)的熱穩(wěn)定性則自動校準(zhǔn)和檢查。工作站集成了專有的紫外線激光。系統(tǒng)軟件包括宏觀建設(shè)快速編程和新一代自動流程用于復(fù)雜加工,附加的實用程序則允許從標(biāo)準(zhǔn)的CSV和DXF文件輸入復(fù)雜的模式。
IX-255的應(yīng)用包括陶瓷的鉆孔和切割,微流體裝置的圖案化和加工聚合物的低錐度角孔。
IX-255系統(tǒng)也可用于微電子三維微加工,玻璃的鉆孔和切割,選擇性去除物料的接觸墊(曝光)和微調(diào)導(dǎo)體。在大面積的曝光模式中,該系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體表面退火應(yīng)用,以及電連接器和生物醫(yī)學(xué)裝置。
為了便于精確的劑量控制,IX-255配備一個可選的擴(kuò)展梁均質(zhì)器以提高光束均勻,同時在大視野暴露的應(yīng)用中提供了增加一倍的系統(tǒng)吞吐量。