華為旗下哈勃投資公司入股光刻機制造商科益虹源

  ICC訊 據(jù)企查查工商信息，近日，華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域，入股了由中科院微電子所控股的科益虹源公司。

  6月2日，北京科益虹源光電技術公司日前發(fā)生了變化，注冊資金從1.2億元增加到2.02億元，增長68%，新增投資人包括華為旗下的哈勃投資，占股4.76%，成為第七大股東?？埔婧缭粗饕獦I(yè)務是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統(tǒng)，是國內(nèi)第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業(yè)。

  根據(jù)相關報道，2018年科益虹源自主設計開發(fā)的國內(nèi)首臺高能準分子激光器出貨，打破了國外廠商的長期壟斷。

  2020年4月份，科益虹源集成電路光刻光源制造及服務基地項目開工建設。該項目由北京科益虹源光電技術有限公司投資建設，總投資5億元，建筑面積1.2萬平方米，年產(chǎn)RS222型光刻準分子激光器、光刻用準分子激光器、405光纖耦合頭等各類設備30臺(套)。