三星尖端芯片設(shè)備遭“盜賣”！

  ICC訊  據(jù)韓媒KoreaHerald報(bào)道，韓國最大半導(dǎo)體設(shè)備制造商、三星供應(yīng)商Semes的兩名前雇員，涉嫌參與向一家中國公司出售關(guān)鍵的晶圓清洗機(jī)而被起訴!

  據(jù)悉，被倒賣的設(shè)備是來自Semes的尖端晶圓清洗機(jī)。

  韓國檢方表示，Semes的2名前員工參與向一家未公開的中國實(shí)體企業(yè)出售關(guān)鍵的晶圓清洗機(jī)，另外還有2名Semes供貨商員工也涉案，他們都被檢察官以違反《防止不正當(dāng)競爭和商業(yè)秘密保護(hù)法》的罪名起訴。

  據(jù)韓媒報(bào)導(dǎo)，被指控技術(shù)盜竊的人共獲得大約800億韓元的技術(shù)竊密回饋。地方檢察廳發(fā)言人表示，完成調(diào)查還需要幾周時(shí)間。

  這些機(jī)器被認(rèn)為是三星尖端半導(dǎo)體芯片技術(shù)的關(guān)鍵。在芯片制造流程中，使用清洗設(shè)備保持晶圓的清潔至關(guān)重要。隨著晶圓變得更薄，該工藝需要更復(fù)雜的方法。而克服技術(shù)障礙的方法之一是讓設(shè)備使用超臨界流體狀態(tài)的二氧化碳來清潔晶圓，與使用其他流體(如超純水)進(jìn)行清潔相比，這可以減少對(duì)晶圓的損壞。

  Semes是一家提供從清潔到蝕刻、攝影、測(cè)試和封裝等芯片制造過程的設(shè)備供貨商，也是全球第一家開發(fā)技術(shù)晶圓清洗機(jī)的公司，并獨(dú)家供應(yīng)給三星電子，專門用于內(nèi)存芯片、處理器芯片等制造。三星在Semes擁有超過90%的股份。