三星電子開發(fā)出透光率達88%的EUV薄膜

  ICC訊  三星電子在2021年在代工廠論壇上宣布自主研發(fā)EUV薄膜(pellicle)的消息，據悉，在2022年底三星電子完成透光率達88%的EUV薄膜產品開發(fā)，并可以大規(guī)模生產。

  消息指出，韓國的EUV薄膜一直被外部廠商壟斷，三星電子開發(fā)EUV薄膜，是為應對未來的需求變化并實現供應多樣化，供應鏈多元化和穩(wěn)定值得期待。業(yè)界預測，今年EUV薄膜的需求將比去年增加近2倍。消息表示，最早在1~2年內，韓國國產EUV薄膜將應用于商用化、量產生產線。

  根據此前消息，除了開發(fā)自己的EUV薄膜外，三星電子還在推動與國內主要材料公司的合作。據悉，三星電子將在其3nm工藝中采用透光率超過90%的最新EUV薄膜以提高良率，這些薄膜將來自韓國公司S&S Tech。

  S&S Tech在2021年生產成功開發(fā)出了透光率達90%的半導體EUV薄膜，并宣布最早將于2023年上半年進入透光率超過90%的EUV薄膜的批量生產。