AIXTRON推出全新Micro LED量產設備

  1月26日，AIXTRON SE發(fā)布新聞稿，宣布向市場推出首款全自動AsP平臺——G10-AsP。新系統(tǒng)滿足了Micro LED和激光設備領域不斷增長的需求。作為業(yè)內首個系統(tǒng)，G10-AsP可實現(xiàn)穩(wěn)健的大批量生產，滿足非常高且復雜的要求。

  AIXTRON SE首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士表示：“Micro LED將徹底改變顯示器世界，因為它們具有更好的耐用性、更長的使用壽命、更好的圖像質量和極低的能耗。然而，這項創(chuàng)新技術對生產過程提出了挑戰(zhàn)，因為它需要最低的缺陷水平和最高的均勻率。我們全新的G10-AsP提供了業(yè)界首個全自動流程，為所有這一切提供了答案。新系統(tǒng)實現(xiàn)了同類產品中最高的吞吐量，具有前所未有的均勻性和缺陷水平?！?

  具有最嚴格材料要求且芯片尺寸≤10微米的Micro LED真正量產首次成為現(xiàn)實。此外，G10-AsP還滿足大批量生產InP(磷化銦)激光器和VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)的復雜要求。

  新平臺G10-AsP將于2023年2月1日在美國舊金山的Photonic West展會期間正式推出。在這次活動中，AIXTRON的專家將展示新系統(tǒng)：他們將解釋新平臺中包含的所有創(chuàng)新，以及它將如何提供同類產品中最高的吞吐量并最大限度地提高潔凈室利用率。

  新型全自動G10-AsP是投放市場的最大的200mm AsP間歇式反應器，配備原位清潔和自動卡匣式 (C2C) 晶圓傳輸技術。前端首次可以配備SMIF(標準機械接口)吊艙，以進一步減少外延晶圓在室內環(huán)境的暴露。借助內置的原位清潔功能，用戶可以根據(jù)需要重新設置腔室條件——無論是在滿足最苛刻要求的每個工藝運行之后，還是在受益于最高吞吐量的生產活動之后。該平臺基于成功的Planetary Reactor(行星式反應器)®技術，這項技術將多晶圓間歇式反應器概念與單晶圓旋轉相結合，以確保最高的晶圓均勻性。

  Micro LED不僅將用于下一代電視顯示器，還將用于未來的智能手表、智能手機、增強現(xiàn)實 (AR) 投影或汽車顯示器。分析人士預計，該領域將在未來五到十年內成為LED最大的市場。

  要使先進的Micro LED以及InP和VCSEL應用達到更高水平的一大挑戰(zhàn)仍然是均勻性：必須在大批量生產過程中實現(xiàn)優(yōu)化的片內均勻性和片間均勻性。新的G10-AsP為這些值設定了新標準，與前代產品相比性能提高了兩到三倍。因此，該全自動平臺將開啟生產Micro LED和光子器件的新時代，克服以前阻礙大規(guī)模生產的主要障礙。

  紅外激光器和探測器等光子器件已在市場上得到廣泛采用。在電信領域，它們?yōu)楣芾聿粩嘣鲩L的數(shù)據(jù)量奠定了基礎，而這些數(shù)據(jù)量與不斷提高的帶寬要求相關聯(lián)。此外，它們還支持3D傳感(例如用于面部識別)和用于自動駕駛的先進技術：隨著這項技術的不斷發(fā)展，光束必須映射更大更廣的區(qū)域。這需要更嚴格的波長公差，這轉化為對外延層沉積非常嚴格的要求。新的G10-AsP可以通過提供外延工藝的顯著精細控制來滿足這一需求，提高材料精度，減少缺陷，從而提高產量和達到更好的均勻性。

  在Micro LED的生產中，提高均勻性是經濟可行的大規(guī)模生產的先決條件：Micro LED顯示器依賴于特殊的印章或矩陣轉移工藝，其中數(shù)千個尺寸僅為幾微米的LED芯片(陣列)被拾取并轉移。由于整個像素陣列都是從外延晶圓基板轉移而來的，因此需要幾乎完美的均勻性——可以料想，沒人會買顯示屏一角顏色與另一角不同的智能手表或智能手機。